CAMECA二次离子质谱仪QUAD4550高深度分辨率超低能量四极杆SIMS

半导体中的四极杆SIMS掺杂物深度剖析和薄层分析

CAMECA SIMS 4550为光学器件中的硅、高k、硅锗以及III-V族化合物等复合材料的薄层提供超浅深度剖析、痕量元素和组分测量等一系列扩展功能。