CAMECA全自动在线二次离子质谱仪AKONIS

用于半导体晶圆厂中成分测量的全自动 SIMS

AKONIS SIMS 工具通过直接在半导体生产线中提供对注入分布、成分分析和界面数据的高产量、高精度检测，填补了半导体制造工艺中的重要空白。AKONIS 有非常高的自动化水平，确保了各种工具在晶圆厂工艺控制和工具之间匹配方面的可重复性。

AKONIS：SIMS 为晶圆厂带去了卓越品质！

除传统的通过表征实验室为半导体行业提供支持的IMS Wf/SC Ultra和 SIMS 4550（四极杆 SIMS）系列外，AKONIS作为其 补充，可实现仪器设置和采集例程的完全自动化，从而可在分析灵敏度不受影响的情况下实现快速的厂内分析。AKONIS 受益于极低冲击能量（EXLIE）离子色谱柱技术（< 150 eV）的发展，与带高分辨率平台的整片晶圆处理系统相结合，可在最小 20 μm 的压焊点上进行测量。

推动实现 N5 及后继制程的高产量
SiGe 和 SiP 多层堆叠的高分辨率成分和快速掺杂物深度剖析
无与伦比的最小 20 μm 在压焊点上的检测限
将数据反馈到生产线的时间缩短了 97% 以上
光片和图案化的整片晶圆测量
图案识别引擎与高分辨率干涉测量平台相结合，可实现 < 2 μm 的位置精度
基于独特材料数据库的直观recipe创建
SEMI 认证（S2/S8、E4、E5、E39、E84...）
低购置成本

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途