赛默飞FIB-SEMHelios 5 EXL

需求高性能、高能效的电子产品正推动先进设备发展，追求更小、更密集、更复杂的3D结构。生产尖端微处理器、存储器件等产品的产能挑战重重，需要高分辨率、原子级分析器件内部特征。透射电子显微镜（TEM）在这种分析中扮演关键角色，依赖于通过聚焦离子束（FIB）铣削生产的优质样品。赛默飞世尔科技Helios5EXLDualBeam是一款300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM），旨在解决半导体行业的TEM样品制备难题。Helios5EXLDualBeam可制备当今最先进工艺节点样品，包括亚5nm和门全方位技术。其分辨率为1.0nm@15kV；0.9nm@1kV单位面积。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途