LSI检查显微镜

LSI检查显微镜ECLIPSE L200N

日本Nikon ECLIPSE L200N/ L200ND 显微镜用于反射照明观察，除可进行明场、暗场、微分干涉观察之外，更可进行UV（365nm)激发的反射荧光观察。光源采用了预定心电动水银光纤光源。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。超高的基本性能之外，更大大提升了观察性、操作性、耐久性。可以观察的最大硅片直径为200mm

超高的基本性能之外，更大大提升了观察性、操作性、耐久性

可以观察的最大硅片直径为200mm

观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）

   ECLIPSE L200N 反射照明专用    ECLIPSE L200ND 反射.透射照明专用

观察性能提升

扩大检查范围的反射荧光观察（L200ND）

反射照明观察，除可进行明场、暗场、微分干涉观察之外，更可进行UV（365nm)激发的反射荧光观察。

对于半导体感光薄膜的残渣、有机EL显示面板的观察发挥了很大的威力。

使用物镜：CFI LU PLAN FLUOR 10X

 硅片的明场观察     暗场观察        微分干涉观察    反射荧光观察

反射荧光观察用的电动水银光纤光源[强光](L200ND)

光源采用了预定心电动水银光纤光源[INTENSILIGHT]。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。

灯箱可与主机分离设置，以降低光源发热对显微镜的影响。6段式的调光机能和快门机能，实现了良好的操作性。

约2000小时超长使用寿命的灯泡大幅降低了使用成本。

 操作性能提升、理环保

比12V100W更亮的高亮度12V50W卤素灯采用了12V50W的[LV-LH50PC预定心灯箱]，与12V100W相比，耗电量削减了约一半，又可达到与其同等甚至更亮的亮度。

灯丝位置经过优化设计，且灯箱里有反光镜，使照明视场均匀，并提高照明效率。特别是用到50倍以的高倍物镜时，能得到比12V100W亮约20%的观察图象。

更环保，也能防止因热量而造成的焦面偏移的干扰。 

抗污染的防静电涂层

主机、载物台、镜筒均涂有消静电涂层。为了提高抗污染能力，防止工件因静电感应而受损，从而提高成品率。

可调节到最佳位置进行观察的正立调倾式三目镜筒

视场数25的超大视场，可任意设定0～30°的观察角度。根据使用者体型和观察姿势的不同，可将三目镜筒调节到最佳位置松随意的进行观察。

 载物台微调手轮无需移动工件

不用移动工件，载物台微调手柄位置固定于显微镜主机操作部旁。

所有的操作部都尽在手边，移动载物台、对焦等显微操作，不用抬手，只需动动手腕就可轻松执行。

耐久性比以前高3倍的电动通用物镜转换器

最多可以安装到6个物镜。和偏心较小的物镜结合使用，用高倍物镜观察时切换倍率也很少会出现图象闪动现象。

从低倍到高倍的自由切换更稳定。考虑到使用者，在旋转物镜转换器时会自动切断照明光路，避免光直接照射使用者眼晴。

对焦目标

对焦目标可移入光路，这一特性对于裸硅片之类的低对比度工件的正确对焦成为方便。

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显微镜操作部位集中于底座前部

操作手轮、按键等，都集中于底座前部，更便于使用。一看就能快捷高效的进行显微操作。大大减轻了长时间观察的疲劳感。

获取最佳图象，提升与显微镜用数码相机的联动力

 实现了从观察到图象拍摄、分析的最佳整体化

  ·尼康开发提供了便于使用的显微镜、数码相机和软件一体化的高机能设备系统。

  ·支持从设定最佳观察条件，到数码拍摄→处理→分析的整个流程。

用于LSI检查显微镜 ECLIPSE L200N

Wafer Loader NWL200系列    

 与ECLIPSE L200N相结合，对应最新的硅片检查需要。

 运用独立的尼康高端技术，稳定传输超薄型100um硅片。 

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途