VacIonPlus•VacIon
Plus是安捷仑科技旗下的著名离子泵产品家族，包括全系列离子泵、控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外，
安捷仑科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案，以满足用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。
VacIonPlus离子泵产品家族拥有Diode二极型、NobleDiode钽阴极二极型以及Starcell
三极型泵在内的全系列产品，以超高真空获得技术为众多应用领域服务。除MiniVac和Dual两款离子泵电源外，新4UHV离子泵控制器则
为不同应用提供了更为丰富的选择。 钛升华复合型离子泵•钛升华复合型离子泵将两种抽气原理合二为一：钛升华过程针对活性气体提供了极高的抽速，而同时Starcell离子泵则有效清除如氩气等惰性气体和甲烷等非活性气体。复合型泵通过额外的法兰将钛升华泵源以及低温筒集成在泵体当中。安捷仑科技还可针对客户的特殊需求提供定制产品。离子泵的发展史从上世纪五十年代，由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来，越来越多的新设计和新技术投入使用，其中大部分源自瓦里安公司，即现在的安捷仑科技。从二极型离子泵，到三极型离子泵，再到Starcell系列产品乃至闻名的VacIonPlus产品家族等①单元结构和绝缘材料
- 优化设计的单元结构尺寸和形状，能够提高放电强度和抽气速度。
- 特殊设计的陶瓷绝缘材料，避免导电材料在绝缘材料上的溅射沉积，确保离子泵更长的使用寿命。
②抽气单元
三种不同的抽气单元可以满足抽除种混合气体和特殊应用的要求：
- 二级泵
- Noble二级泵（钽）
- 拥有专利的StarCell三级泵
③烘烤加热装置
- 可选配相应的烘烤加热装置，以更妥善地烘烤泵体
- 简化操作过程
④高压电源线
- 新型的高压电源线具有“高压安全互锁”功能，以避免潜在的放电风险
- 当电源线从泵体断开时自动切断高压输出
- 可根据用户需要定制相应长度
- 可靠，灵活的金属套装线缆
- 耐受幅射能力107Gy
⑤高压端子
- 采用防腐材料
- 具有“高压引线互锁”功能
- 易于连接
- 防脱落设计
- 优化的尺寸
⑥根据用户特殊要求设计定制
- 根据用户需求可提供定制设计的泵体结构
- 低温筒和钛升华泵可选择侧向或底部安装
- 定制复合吸气剂(NEG)模块的离子泵
- 集成加热烘烤装置
- 扩展接口
各种抽速范围的离子泵
- 微型泵抽速范围从0.2到10l/sec
- 中小型泵抽速范围从20到75l/sec
- 大型产品抽速范围从150到1000l/sec
- 钛升华复合型离子泵
- 其他满足用户定制需要的特殊型号
高真空处理工艺
- 安捷伦真空采用了严格的高真空处理工艺来确保离子泵的卓越品质：
- 离子泵泵体及所有内部材料均经过严格的超高真空环境下450ºC高温除气
- 每台离子泵出厂前均经过RGA分析，并在真空密封条件下封装出厂
|型号|进气口法兰|组件类型|抽速(l/s)(SaturatedPumpat1-6mbar)|工作寿命(Hours)(at1-6mbar)|最大启动压力(mbar)|最大烘烤温度(°C)|重量(kg)|
|---|----------|-------|-----------------------------|----------------------|-----------------|-------------------|---------|
|MiniaturePump|2l/s|抽气口法兰2 3/4”ODCFF(NW35)|Diode|氮气0.22|N/A|1x10-4|400(withoutmagnet)|Net0.3(0.66)Shipping0.6(1.33)|
|2l/sPump|10l/s|抽气口法兰2 3/4”ODCFF(NW35)|Diode|氮气20|8000|1x10-4|150(withmagnet)|Net0.3(0.66)Shipping0.6(1.33)|
|10l/sPump|VaclonPlus20|抽气口法兰4 1/2”ODCFF(NW63)|Diode|氮气22|40505|≤1x10-4|400(withoutmagnet)|Withoutmagnet4(9)Net7(15)Shipping11(24)|
|VaclonPlus40|VaclonPlus55|VaclonPlus75|VaclonPlus150|VaclonPlus300|VaclonPlus500|抽气口法兰6”ODCFF(NW100)|Diode|氮气7343640505355656875125135150240260300410440500|最大启动压力(mbar)|10-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-3|最大烘烤温度(°C)|150(withmagnet)|350350350350350350350350350350350350350350350350350350350350350350350|重量(kg)(Ibs)|43(94)69(149)120(264)NEG|抽气口法兰8”ODCFF(NW150)|星形三级泵|Diode|氮气+特殊气体|VaclonPlus结构泵|组件型号2 3/4”ODCFF(NW35)Diode|抽气口法兰6”ODCFF(NW100)|稳定的单元结构|少于1x10-4的最大启动压力|独特的陶瓷绝缘材料设计|适应幅射环境|抗气体和特殊气体|模块化烘烤设计|StarCell三级泵|Noble二级泵（钽）|二级泵|启动元件的复合设计|VaclonPlus制冷机|VaclonPlus泵|独特的陶瓷绝缘材料|避免导电材料溅射|集成模块PumpNG（NEG）|测试（不经离子泵信号全覆盖实验）|稳定的抽气性能|选择低温筒（可以侧向或底部安装）|选择优化或专业设计复合NEG模块|优化各种规格和长度的金属高压线|特殊元件可定制Pump组合使用|三级泵设计特性调节|金属应变限制的调节|模块内的特殊制冷（VaclonPlus铰刀）|测试（RGA和MCA的低信噪比补偿测试）|超高真空的除气处理（450°C）|真空密封的条件拆卸处理|封装出厂的坚固（VaclonPlus与Noble出厂组装）|MiniaturePump2l/sPump10l/sPumpVaclonPlus20VaclonPlus40VaclonPlus55VaclonPlus75VaclonPlus150VaclonPlus300VaclonPlus500进气口法兰2 3/4”ODCFF(NW35)2 3/4”ODCFF(NW35)4 1/2”ODCFF(NW63)6”ODCFF(NW100)6”ODCFF(NW100)8”ODCFF(NW150)8”ODCFF(NW150)组件类型DiodeDiodeDiodeStarCellNobleDiodeDiodeStarCellNobleDiodeDiodeStarCellNobleDiodeDiodeStarCellNobleDiodeDiodeStarCellNobleDiodeDiodeStarCellNobleDiodeDiodeStarCellNobleDiodeDiode抽速(l/s)(SaturatedPumpat1-6mbar)氮气0.2210202227343640505355656875125135150240260300410440500工作寿命(Hours)(at1-6mbar)N/A800040000805050805050805050805050805050805050805050最大启动压力(mbar)1x10-41x10-4≤1x10-410-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-310-210-310-3最大烘烤温度(°C)400(withoutmagnet)150(withmagnet)400(withoutmagnet)150(withmagnet)350350350350350350350350350350350350350350350350350350350350350重量kg(Ibs)Net0.3(0.66)Shipping0.6(1.33)Net0.3(0.66)Shipping0.6(1.33)Withoutmagnet4(9)Net7(15)Shipping11(24)Net17(37)Shipping21(46)Net18(39)Shipping22(48)Net19(42)Shipping23(51)Net43(94)Shipping53(110)Net69(149)Shipping84(185)Net120(264)Shipping135(297)半导体行业认证––+++++–––
离子泵信息由上海柯舜科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于离子泵报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
