VacIonPlus•VacIon Plus是安捷伦科技旗下的知名离子泵产品家族,包括全系列离子泵、控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外,安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案,以满足用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。
VacIonPlus离子泵产品家族拥有Diode二极型、NobleDiode钽阴极二极型以及Starcell三极型泵在内的全系列产品,以超高真空获得技术为众多应用领域服务。除MiniVac和Dual两款离子泵电源外,新4UHV离子泵控制器则为不同应用提供了更为丰富的选择。 钛升华复合型离子泵•钛升华复合型离子泵将两种抽气原理合二为一:钛升华过程针对活性气体提供了极高的抽速,而同时Starcell离子泵则有效清除如氩气等惰性气体和甲烷等非活性气体。复合型泵通过额外的法兰将钛升华泵源以及低温筒集成在泵体当中。安捷伦科技还可针对客户的特殊需求提供定制产品。离子泵的发展史从上世纪五十年代,由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来,越来越多的新设计和新技术投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即现在的安捷伦科技。从二极型离子泵,到三极型离子泵,再到Starcell系列产品乃至闻名的VacIonPlus产品家族等。①单元结构和绝缘材料
优化设计的单元结构尺寸和形状,能够提高放电强度和抽气速度。采用特别设计的陶瓷绝缘材料,避免导电材料在绝缘材料上的溅射沉积,从而确保更长的离子泵使用寿命。
②抽气单元
产品提供三种不同的抽气单元,可以满足抽除种混合气体和特殊应用的要求。包括二级泵、Noble二级泵(钽)、拥有专利的StarCell三级泵。
③烘烤加热装置
可根据需要选配合适的烘烤加热装置,以更好地进行泵体烘烤,并简化操作过程。
④高压电源线
采用新型的高压电源线,具有“高压安全互锁”功能,可以避免潜在的放电风险。当电源线从泵体断开时,自动切断高压输出。且可根据用户需要定制相应长度,具有可靠、灵活的金属套装线缆,耐受幅射能力107Gy。
⑤高压端子
高压端子采用防腐材料,具有“高压引线互锁”功能,易于连接,具有防脱落设计和优化的尺寸。
⑥定制设计
针对用户的特殊要求,可提供定制设计的泵体结构,包括低温筒和钛升华泵可选择侧向或底部安装,定制复合吸气剂(NEG)模块的离子泵,集成加热烘烤装置,扩展接口等。
确保在严格的高真空处理工艺下,离子泵能够达到卓越品质。此外,MiniaturePump等不同型号可满足各种抽速范围的需求。
除此之外,产品还具有半导体行业认证,可以满足相关的需求。
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途