中图仪器WD4000晶圆几何形貌测量系统

详细信息

一、产品简介

　　WD4000晶圆几何形貌测量系统可以在一个测量系统中自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、微纳三维形貌。使用光谱共焦技术测量晶圆厚度、TTV、BOW、 WARP等参数，同时生成Mapping图；采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面的2D、3D参数。

WD4000晶圆几何形貌测量系统可广泛应用于Wafer制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

二、产品优势

1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量

◆ 集成厚度、测量模组和三维形貌测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、BOW、 WARP及三维形貌的测量。

2、高精度厚度测量技术

◆  采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。

◆ 带多点传感器孔和静电放电涂层的钢制真空吸盘， 晶圆规格最大可支持至 12寸。

◆ 采用点地图技术，可编程多点自动测量。

3、高精度三维形貌测量技术

◆ 采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨力最高可到0.1nm；

◆ 独特隔振设计极大降低地面振动噪声和空气中声波振动噪声，获得极高的测量重复性。

◆ 机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。

4、大行程高速龙门结构平台

◆ 大行程龙门结构（400x400 x75mm），最大移动速度500mm/s。

◆ 高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。

◆ 关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系

统，保证设备的高精度、高效率。

5、操作简单、轻松无忧

◆ 集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准备工作。

◆ 双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。

◆ 电动物镜切换让观察变得快速和简单。

中图仪器WD4000晶圆几何形貌测量系统信息由深圳市中图仪器股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于中图仪器WD4000晶圆几何形貌测量系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途