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苏州英莳特仪器科技有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | F54 |
| 品牌： | 美商菲乐 | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 暂无 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 一般经销商 | 产地类别 | 进口 |
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薄膜纳米厚度测量仪
自动化薄膜厚度分布图案系统
依靠F54先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。
可测样品膜层
基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：
氧化硅 | 氮化硅 | 类金刚石DLC |
光刻胶 | 聚合物 | 聚亚酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |
薄膜纳米厚度测量仪
相关应用
半导体制造
• 光刻胶• 氧化物/氮化物/SOI• 晶圆研磨减薄/封装
液晶显示器
• 盒厚• 聚酰亚胺• ITO
光学镀膜
• 硬涂层• 抗反射涂层• 滤光片
微电子
• 光刻胶• 硅膜• 氧化铝/氧化锌薄膜滤镜
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
