Tergeo-Pro 等离子清洗机 资料.pdf

一、Tergeo-Pro等离子清洗机-产品特征：

【1】大样品室（内径：9″/ 230mm，深度：13.4″/ 340mm）。足够容纳一个8英寸晶圆片。

【2】等离子体放电方法：电容耦合等离子体放电，外部有弯曲的放电电极。

【3】连续和脉冲等离子体：脉冲比率可以从100%（连续）改变到小于1%。Tergeo等离子体系统不仅可以按1瓦的间隔调整射频功率瓦数，还可以创造连续和脉冲等离子体。改变等离子体强度的幅度超过几个数量级。

【4】操作方法：自动配方执行；自动工作序列执行；手动操作。

【5】等离子体传感器：等离子体强度传感器实时监测等离子体状态，向用户提供不同配方条件下等离子体强度的定量反馈。等离子体传感器还可以监测等离子体灰化过程的进展，并作为一个终点指示器。等离子体强度会实时显示在LCD触摸屏上。

【6】先进的过程控制能力：压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流速计、等离子体强度传感器、自动阻抗匹配。

【7】腔体设计：铝制法兰和厚壁高纯度石英管提供了更强的耐化学性，减少了Pyrex玻璃中的碱性杂质（Ca, K, Na）。

【8】样品架：4mm厚的高纯度石英板，尺寸：220mmX280mm。

【9】射频电极：外部电容耦合的射频电极包裹着石英管。外部射频电极的设计使等离子体体积更大、更均匀，也消除了内部金属射频电极设计带来的离子溅射和加热问题。

【10】射频电源：13.56MHz的高频射频电源，具有自动阻抗匹配功能。射频功率有三种选择。150瓦、300瓦和500瓦，频率为13.56MHz。射频功率可以以1瓦的间隔调整。与低效低成本的KHz电源相比，13.56MHz射频电源产生的等离子体密度要高得多。

【11】气体输入：多达三路MFC控制的气体输入（0~100sccm）。一个额外的端口用于通风和吹扫。¼英寸世伟洛克压缩接头连接器。

【12】用户界面：7英寸电阻式触摸屏，用手指触摸，不需要手写笔。

【13】程序配方和工作支持：总共有20个可定制的配方。工作顺序中最多有三个清洗步骤。

二、Tergeo-Pro等离子清洗机-典型应用：

【1】光刻胶灰化、除胶、硅片清洗；

【2】焊线前的芯片清洗，倒装芯片底层填充，PCB去污；

【3】生物医学涂层前的表面处理，提高医疗植入物的亲水性；

【4】环氧树脂粘接前的光学器件、玻璃、纤维头和基材清洗；

【5】PDMS、微流控芯片、玻璃片和芯片上的实验室；

【6】提高金属与金属或复合材料的粘合度；

【7】提高塑料、聚合物和复合材料的粘接性；

三、Tergeo等离子清洗机-产品优势：

【1】外部电极的设计提高等离子体的均匀性；

【2】*的等离子体传感器技术，用于定量的等离子体强度测量；

【3】直接/浸入模式和远程/下游等离子体处理模式在一个系统中的应用；

【4】连续和脉冲等离子体可以改变3-4个数量级的清洗速度；

【5】高频13.56MHz rf电源，具有自动阻抗匹配功能。在相同的额定射频功率下，MHz等离子体系统的效率比KHz等离子体系统高很多倍；

【6】先进的过程控制技术；

【7】质量流量控制器(MFC)调节气体输入，而不是手动转子流量计或粗针阀；

【8】先进的数字压力传感器用于精确的压力监测；

【9】全自动化操作，支持20种程序配方；

【10】直观的电阻式触摸屏用户界面；

【11】外部射频电极和石英室可以消除内部金属电极的等离子体系统的金属污染问题；