Film thickness meter 光学膜厚测量仪 资料.PDF

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一、膜厚仪产品组成：

（1）测试主机

（2）光纤

（3）校正件

（4）测量头

（5）夹持装置

（6）手提电脑

（7）设备箱

二、膜厚仪产品特点：

（1）采用光谱干涉原理进行测量，具有非接触、无破坏、快速等特点；

（2）可在真空环境使用；

（3）可与大行程工件台配合，实现大面积膜厚自动测量；

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三、主要技术指标：

（1）测量范围（VIS）：15nm—100μm    

（2）测量重复性（RMS）：0.086nm    

（3）测量绝对精度（与椭偏仪对比）：0.25nm    

（4）测量层数：大于3层；

（5）使用光源：卤素灯；    

（6）入射角度：90°    

（7）测试材料：透明或半透明薄膜材料；    

（8）光斑尺寸：20μm—3mm（可选）    

（9）测量时间：100ms—4ms

（10）通信接口：USB2.0    

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