PDC-MG 等离子清洗机 资料.pdf

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一、PDC-MG等离子清洗机产品概述：

铭恒等离子清洗机PDC-MG配备有各种数字式仪表，能更加精确的记录各个实验参数。该款设备操作更为简便，只需要-一个开关键即可对整个清洗过程进行控制。该型号等离子清洗机具备更为高的射频功率，使得等离子清洗的应用面更为宽广，除普通的清洗功能外，还具备表面改性、键合、浅刻蚀等功能。

通过国家辐射环境管理监测站检验，符合国家相关产品标准要求。

二、PDC-MG等离子清洗机技术参数：

1、型号规格：PDC－MG；

2、整机规格：500×300×300（长×宽×高）mm；

3、整机重量：30 Kg；

4、反应舱规格：Φ165×L210 mm (耐热玻璃)；

5、反应舱有效容积：4.5 L；

6、输入电源：220V／50Hz；

7、整机输入功率：400 W；

8、射频功率：0～150Ｗ（连续可调）；

9、射频频率：13.56 MHz；

10、极限真空度：60 Pa；

11、数字式定时器范围：0-99.99 min；

12、数字式电流表和数字式电压表：方便判断工作中的功率大小；

13、二路浮子流量计： 0.2～1.5 L／min 量程，方便二种气体按比例混合；

14、玻璃观察窗：观察清洗舱内辉光的状态；

15、常用工作气体：空气、氩气、氨气或混合气体等；