一、德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i产品特点和技术参数：

1、结构：

（1）旋涂腔体直径为202毫米，适用于小尺寸碎片至160 mm 直径圆片或 4" x 4" 方片；

（2）NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蚀结构为整个系统提供更好的刚性和韧性；

（3）旋涂腔室材质为NPP（天然聚丙烯）,特殊应用可选用高耐化学性的PTFE（TFM™）；

（4）高品质无缝制造表面，全工程塑料；

（5）机身尺寸为：274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm，适用于通风厨和手套箱使用；

2、数字电机控制：

（1）具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈；

（2）允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验，系统高速运行时更稳定，振动更少；

（3）提供高性能无刷电机，有着高精度的转速（±0.1 rpm）和宽范围的转速（1至12,000 rpm），这是传统PID电机控制器无法实现的；

3、程序配方数目存储不设限，可用于多个步骤的配方，每个配方均适用于：

（1）旋涂时间：0.1至99999秒/步；

（2）旋涂转速：0至12,000 rpm；

（3）旋转方向：顺时针，逆时针，顺、逆时针交换搅动；

（4）旋涂加速度：1至30,000 rpm / sec（每步可选）；

（5）真空：开/关；

（6）3个可编程的干触点：例如用于分配单元，氮气扩散器等的自动控制；

4、设备控制器：

（1）可拆卸的全尺寸触摸屏，手套防护，IP 52，耐化学腐蚀；

（2）彩色触摸屏显示，可轻松编程速度，加速度和时间；

5、安全联锁：

（1）Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定，并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开；

（2）电磁盖联锁在打开时停止旋转，而真空联锁（可编程）在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转，防止伤害使用者并避免基材破裂；

（3）具有国际CE标志和过载保护的电气安全；

6、透明盖：

（1）透明盖清晰可见内部，带有注射器支架和N2扩散器，可手动分配注胶以及在处理过程中进行N2吹扫；

（2）注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质；

（3）控制室环境对于恒定的过程结果至关重要；

（4）坚固的自弹式盖铰链，可自动将盖保持在最佳状态，以便轻松搬运和卸下基板，同时确保盖子上的残留化学物质都流入系统排水口；

7、连接：

（1）三个可编程继电器输出，可用于操作自动分配系统，外部阀或其他附件。

（2）多种chuck可供选择，适用用于不同尺寸的基板。

8、USB端口：可轻松上传和下载配方以及更新软件版本；

9、存储：结构化和受密码保护的方案存储，可轻松安全地进行管理；

10、配套真空泵系统：无 油 型 220~240伏交流，50/60赫兹；

二、德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i应用领域：

1、适应于钙钛矿太阳能电池薄膜制备；

2、半导体芯片制造；

3、MEMS制版的表面涂覆；

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途