基于圆柱面的白光干涉仪
大型快速的3D白光干涉测量
使用高精度的压电马达
全电动系统
可用于直径从70mm的不同气缸
使用MountainsMap影像地形分析数据
 

可选：标准化工作的特殊评测

 SmartWLI-cylcheck参数                                                                                       

探测器

摄像头传感器:              CCD GigE 1388x1038 Pixel, 17 fps
光源:                      白光LED

系统组件
深层定位:                  电动可调节到200 mm
X-Y定位:                   圆柱直径为电动调节
                           可从70 mm调到155 mm

系统转动:                  可手动旋转
Z-测量系统:                WLI/压电式底座的测量范围为100um
测量转接器:                用于安装在气缸上的转接器
滚动箱 :                   记录所有系统组件，包括工业PC对仪器的控制                                        
评估:                      MountainsMap影像地形

镜头选项
放大倍数                      10x            20x           50x
在平方微米的测量领域         1290x965       645x480       258x190
NA                            0,3            0,4           0,55
z方向分辨率                 <5 nm           <5 nm          <5 nm
XY方向分辨率                1,9 µm          1,0 µm         0,7 µm

选项                                                           
Cylanalyse             圆柱表面的分析评价

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途