400-6699-117转1000
虚拟号将在 XXX 秒后失效,请在有效期内拨打
若未完成电话咨询，您可提交留言咨询，厂商主动联系您
咨询列表
安捷伦科技（中国）有限公司
虚拟号将在 XXX 秒后失效,请在有效期内拨打
半导体器件生产过程中，缺陷的存在会不同程度影响产品质量，例如关键位置的金属类夹杂可能会引发器件的短路，清洗溶液不纯净引入的有机、无机析出物可能会导致光刻、离子注入、沉积等环节的失败，进而引发晶圆图形与设计不符等问题。因此，晶圆生产制造过程需要对缺陷进行实时监控，并对大量重复出现的缺陷进行分析溯源，以快速明确夹杂、缺陷的来源，从而控制调整相关工艺，稳定产品质量。
点击下载，查看FE-1050电镜应用于半导体缺陷分析服务能力。
