精密型IV测试手动探针台

发布时间：2023年09月

产品介绍

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

技术优势

◆模块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试

◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节    

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试

◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

◆1微米以上电极/PAD使用

◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式

产品模块参数介绍

产品示意图

通用参数

XY110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调

3um

可引出背电极

进口无油真空泵，7L/min

环形真空吸附

XYZ均13mm

3um（可选配升级1um，电动）

100fA(三同轴线缆)

可调磁力吸附（可升级真空吸附）

三同轴接口

双目体视显微镜（可升级金相显微镜）

~270倍（可选配升级更高倍数）

2000W高清，支持PC端通讯传输

140mm，升降范围270mm，总高度350mm

XY行程25mm/50mm，分辨率3um

22寸高清显示器，HDMI高清接口

应用领域：

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

精密型IV测试手动探针台信息由南京谱量光电科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于精密型IV测试手动探针台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途