等离子清洗机YP-20

发布时间：2023年08月

屹东YP-20等离子清洗机主要用于样品清洗或真空腔体的清洗。用途非常广泛，其可搭的配拓展设备包括但不限于：SEM、FIB、NanoProbe、TEM及其他各类真空腔体。

核心优势

• 新型电感耦合技术(ICP)产生等离子体,粒子密度远高于传统的电容耦合技术(CCP)

• 产生的高浓度氧自由基可高效去除样品表面碳氢污染物

• “DOWNSTREAM”清洗方式对样品无损伤,表面原始形貌被完整保持

• 工作气压范围：0.01-500Pa，不破坏被清洗腔室的高真空

• 集成式软件控制，一键点击清洗，无需用户过多操作

应用案例

• 硅片样品

  清洗前：中心区域有明显积碳	清洗后：积碳被清洗干净

用户界面

• 样品室和样品均可被清洗

• 用户友好型操作界面，内置不同种类样品常用清洗设置

• 可预设清洗流程，远程操控

• 直接安装于高真空腔室的接口上无需特殊固定工具

性能参数

等离子清洗机YP-20 信息由屹东光学技术（苏州）有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机YP-20 报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途