MICRO纳米压痕仪

发布时间：2023年12月

产品简介

MICRO公司的纳米力学性能测试系统,可以提供新型材料和特种材料开发和优化的大量信息。是世界上最灵活、功能最强大的纳米力学测试系统。它可以为用户提供高精度的纳米压痕测试，同时提供相关的全面综合测试：如纳米划痕和磨损测试、纳米冲击和疲劳测试、以及在高温、液体环境中的测试。这些纳米水平上的测试可以为我们提供材料表面局部的定量信息，数据可靠、测试省时。这些因数使得MICRO在世界范围内成为大学、工业实验室和标准机构中很多表征和优化项目的最关键设备。

自1988年以来，我们一直走在纳米力学创新的前沿： 

► 第一个商用高温纳米压痕平台 

► 第一台商用纳米冲击试验机 

► 第一个商用液体池 

► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器

产品优势：

► 无与伦比的技术多样性 无 纳米压痕，纳米划痕，纳米冲击， 纳米微震动磨损，纳米磨损 

► 高精度的多种载荷 纳米（至500mN）和微米（至30N） 

► 引领市场的环境兼容能力 引 高温（至850°C）、低温（至-20° C）、液体和湿度环境 

► 真正测量多 真 样性 动态、静态、电气和多种成像模式

技术指标

1、加载框架 

     花岗岩复合材料设计专门用于计量应用 

2、加载应用 电磁 

    标准头最大载荷 500 mN 

    位移传感器 线性电容 

    负载分辨率 3 nN 

    位移分辨率 0.002 nm 

    重复定位精度 < 0.4 µm 

    可测试区域 50 mm x 100 mm 

    样品处理 手动控制并点击显微镜图像 

    热漂移 <0.005 nm/s 

    接触力 <1 µN 

    显微镜– 4个物镜 x5, x10, x20 和 x40 

    屏幕放大率 x410, x825, x1650, x3300 

    隔振 负K，机械被动 

    压头交换时间 <1 min 

    符合标准 完全符合ISO 14577和ASTM 2546 

3、划痕模块 

     最大摩擦力 >250 mN 

     摩擦载荷分辨率 10 µm 

     最大划痕距离 > 10 mm 

     划痕速度 100 nm/s 至 0.1 mm/s 

4、冲击模块 

     加速距离 高达20 µm 

     接触应变率 高达10⁴ s^-1 

     微动磨损模块 

     轨道长度 ≤20 µm 

     频率 ≤20 Hz 

     最大磨损次数 >10 

 5、SPM纳米定位平台 

     XY扫描范围 100 µm x 100 µm 

     Z扫描范围 20 μm 

     定位精度 ≤2 nm 

     闭环线性 99.97% 

6、AFM 

    XY扫描范围 110 µm x 110 µm 

    Z范围 22 µm 

7、高温选项 

    温度 850 °C 

    主动，独立的样品和压头加热 是 

    压头材料 金刚石，氮化硼，蓝宝石 

8、高负载头 

     最大载荷 30 N 

     摩擦载荷分辨率 300 μN 

应用范围

航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等

MICRO纳米压痕仪 信息由昱臣半导体技术（香港）有限公司为您提供，如您想了解更多关于MICRO纳米压痕仪 报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途