HAL/3F 残余气体分析四极质谱仪

仪器简介 

英国Hiden公司的RGA Series残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，用于真空诊断和工艺工程的精确分析。  

RGA Series残余气体分析四极质谱仪包括HAL RGA ，3F Series RGA和3F-PIC三种规格水平。

主要特点：

·PPM灵敏度

·通过RS232、USB或Ethernet连接计算机，MASsoft专业软件控制 

·快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 

·混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰 

·同步显示数据图，列表 

·同步背景扣除，自动质量数列表 

·数据输出为ASCII格式，至windows设备 

·即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如 Excel、SPC-IV统计过程控制软件等

 技术规格： 

·质量数范围：200，300 amu

·扫描速度：100amu/s

·它比 1000-0100 和 10000 到 0100-0000 到 0000-0000-0000-10000 重要得多。

·灵敏度：0.1 ppm~1ppm

·稳定性：24h以上，峰高变化小于±0.5%

仪器简介：
HIDEN RGA/3F/PIC 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。1-50amu高分辨四极杆质谱。

  · 残余气体或泄漏检测
  · 实际泄漏或脱附分析
  · 除气研究
  · 烘烤周期
  · 泵效能
  · 腔室/过程气体污染物


主要特点：
  · 灵敏度PPM,质量数至300amu
  · 稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%）
  · MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制

   ·阈值离子化模式分析D2/He

  · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
  · 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
  · 同步显示数据图，列表
  · 同步背景扣除，自动质量数列表
  · 数据输出为ASCII格式，至windows设备
  · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如
  · Excel、SPC-IV统计过程控制软件等

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途