国家重点专项场发射枪扫描电子显微镜通过验收

　　12月6日，由北京中科科仪股份有限公司承担的国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目技术综合验收会在北京外国专家大厦召开，科技部专家组成员、项目牵头单位、合作和应用单位代表参加了本次会议。

　　会上，验收专家组现场听取了中科科仪项目负责人张永明所做的完成情况汇报，观看了项目视频，听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员对项目完成情况给予高度评价，一致建议通过验收。

　　中科科仪多年来一直致力于电子显微镜产品的研制开发与技术升级，1975年中科科仪研制成功的我国第一台DX-3型扫描电子显微镜分辨率达到10nm；1985年与美国AMARY公司合作开发的KYKY-1000B扫描电子显微镜分辨率达到6nm；直至今天KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜分辨率达到了1nm。

　　此次参与验收的场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具,为前沿科技研究提供重要支撑，提升高端科学仪器研制水平，促进精密制造业发展，满足半导体技术、生命科学、环境保护等领域的迫切需求。该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率指标分别达到和优于3nm@1kV和1nm@30kV，达到国际一流水平，极大促进了我国电子光学仪器产业的发展，使我国扫描电镜实现台阶式飞越，有效解决当前“卡脖子”问题，打破了国外产品垄断局面，促进国家、民族工业发展。极大推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平。