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CXF-200/1401型磁悬浮分子泵

参考报价: 面议 型号: CXF-200/1401
品牌: 中科科仪 产地: 北京
关注度: 492 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
仪器种类分子泵价格范围3万-5万
是否有油无油泵
重量51kg最大真空度2*10-6Pa
抽气速率1400
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

CXF-200/1401型磁悬浮分子泵

       磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备,抽速为1400L/s到3000L/s,应用压力范围为20Pa到10-7Pa,包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。


产品特点

节能:无摩擦,避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30%

高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求


技术指标

抽气速率(l/s)N2:1400   Ar:1360  He:880   H2:560压缩比N2:>1E7   Ar:>1E7   He:>1E4   H2:>1E3
极限压强(Pa)10-6(橡胶密封)   10-7(金属密封) 进气口法兰DN200 ISO F(标配)  DN200 CF(可选)   DN200 LF(可定制) 
额定转速(rpm)30000启动时间(min)≤6
停机时间(min)≤16安装方式任意角度
冷却方式水冷推荐前级泵抽速(l/s)≥16


应用领域

半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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