MC012-XZ-150G主要参数
 3.1气浮工作台 气浮形式 闭式
 3.2移动精度 Z:≤0.2um/100mm
 3.3光栅尺 精度 X:≤5um/150mm X:≤3um /150mm
 3.4产地 国产 进口
 3.5传感器 量程 6mm(可扩展)  
 3.6测量范围 轴 Ф1-100 mm
 3.7套 ≤Ф200 mm
 3.8长度 140 mm
 3.9工作台移动速度 0.2-0.4mm/s
 3.10机械调速（分三档）
 3.11所需电源 220V    50Hz   0.5Kw
 3.12所需气源压力 纯净空气≥0.5Mpa