技术特点
【技术特点】-- 光致发光影像系统--Helios
特点:
1. 线上监控或线下分析都适用
2. 采用InGaAs探头提升测量灵敏度,减少检测时间
3. 采用高灵敏光学成像技术,每片晶圆测试时间<1s
4. 鉴别并预防低质量材料进入高损耗工序,降低成本
5. 采用简单明了的图形界面和是非判定
6. 相比于其他同类PL系统更具性价比
【技术特点对用户带来的好处】-- 光致发光影像系统--Helios
【典型应用举例】-- 光致发光影像系统--Helios
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经销商
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