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光致发光影像系统--Helios

tel: 400-6699-117 7795

卓立汉光其它光学测量仪, Helios是全自动实时材料分级和过程控制的在线监控设备,......

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技术特点

【技术特点】-- 光致发光影像系统--Helios

特点:
  1.       线上监控或线下分析都适用
  2.       采用InGaAs探头提升测量灵敏度,减少检测时间
  3.       采用高灵敏光学成像技术,每片晶圆测试时间<1s
  4.       鉴别并预防低质量材料进入高损耗工序,降低成本
  5.       采用简单明了的图形界面和是非判定
  6.       相比于其他同类PL系统更具性价比


【技术特点对用户带来的好处】-- 光致发光影像系统--Helios


【典型应用举例】-- 光致发光影像系统--Helios



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地址:北京市中关村科技园区通州园金桥产业基地 环科中路16号,联东U谷中试区68号B座

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