超精密电控平移台-uKSA50/100/150/200系列
uKSA系列超高精密电控平移台,按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品,是我公司正在开发的新型电移台,该系列电移台设计技术指标达到国际水平。如:闭环分辨率0.1μm,全行程范围内直线度、平直度小于6μm,俯仰、偏摆小于15″。该系列产品配合我公司的控制器,定位于超高精度要求的领域应用,如:超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。
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