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pgaTOF过程气体分析仪(半导体)

tel: 400-6699-117 6239

拓服工坊过程质谱/在线质谱, 提供半导体关键制程中气体组分的高灵敏度实时分析......

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pgaTOF性能指标

 Corrosion ResistantOperate in Any Position

Resolving Power

M/ΔM

Sensivity
cps/ppb
LOD
 ppb/s
 Size
 kg | cm
pgaTOF 2R yes  yes  8000   >10  <1  160 | 148 x 48 x 62  
pgaTOF Rno* yes 4000 >10 <1 85 | 90 x 40 x 53
 pgaTOF S2yesyes 800 >10 <1  93 | 112 x 47 x 47

*corrosion resistant version readily available


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地址:南京市浦口区浦滨路320号 南京拓服工坊科技有限公司

电话:400-6699-117 转 6239

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