| 样品处理 | X 射线管 | 通道 | 安装 |
|---|---|---|---|
| 直接进样 100 - 300 毫米的晶片；较小的尺寸可以通过特殊适配器处理 | SST-mAX75，超尖锐端窗射线管，SST-mAX50 为选配 | 最多 24 个固定通道 | 符合 SEMI S2/S8 |
| FOUP、SMIF、开放式载盘和手动进样选项可用 | 测量点尺寸 40 和 10 mm；可以测量其他点尺寸 | 最大值(M) 2 个测角仪 | 符合 SECS/GEM |
| 高达每小时 25 块晶片的样品处理能力 | Zeta 技术 | 高性能硼通道，以获得高灵敏度和处理量 | |
| 适用于 B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSix 的专用高性能通道，具有高灵敏度和高处理量 | |||
| 氩气/甲烷混合气体 | |||
| 流气探测器 | |||
| 封闭式计数器 | |||
| 扫描仪 10 º-100 º 2θ | |||
| 带有 300 µm 铍窗的闪烁式探测器 |
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经销商
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