一、简介
德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换,其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。
多数Xiton激光器具备TEM00模式输出,保证优越的聚焦性能,适合直写等应用;单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征,长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器,固态激光器体积小、寿命更长,维护成本更低。
二、产品系列
1、IXION 193深紫外激光器
IXION 193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
型号 | IXION 193 SLM |
波长 | 193.368nm (可选185-194nm) |
平均功率 | 10mW |
脉冲宽度 | 8 - 12ns |
单脉冲能量 | 1.6uJ |
重复频率 | 1-15kHz |
M2 | <1.6 |
线宽 | 80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1 |
相干长度 | >2m |
调谐范围 | >80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1 |
典型应用
• 光谱仪校准
• 光刻
• 干涉仪
• 193nm计量测量
• 准分子激光器种子源
2、SLM系列单纵模激光器
SLM系列提供1064nm,532,355,266,213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。
型号 | SLM-213 | SLM-266 | SLM-355 | SLM-532 | SLM-1064 |
波长 | 213nm | 266nm | 355nm | 532nm | 1064nm |
平均功率 | >100mW | 500mW | 2W | 4W | 10W |
脉冲宽度 | 6-8ns | 8-10ns | 10-12ns | 10-15ns | 15-25ns |
单脉冲能量 | 10uJ | 50uJ | 200uJ | 400uJ | 1mJ |
重复频率 | 1-15kHz | 1-20kHz | 1-15kHz | 1-15kHz | 1-15kHz |
M2 | <1.6 | <1.7 | <1.5 | <1.2 | <1.2 |
线宽 | <80MHz | <80MHz | <60MHz | <60MHz | <40MHz |
相干长度 | 1.5m | >1.8m | >2.5m | 2.5m | 3.8m |
脉冲抖动 | 2.5% | <2.0% | <2.0% | <1.0% | <0.4% |
典型应用
• 激光雷达
• 干涉计量
• 光刻
• 光纤布拉格光栅(FBG)制造
• 光谱仪校准
• 计量学
• 全息
3、EXCITE系列
EXCITE系列尺寸较SLM系列为小,提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。
型号 | EXCITE 266 | EXCITE 355 | EXCITE 532 | EXCITE 1064 |
波长 | 266nm | 355nm | 532nm | 1064nm |
平均功率 | 150mW | 400mW | 2.5W | 6W |
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 Xiton Photonics深紫外窄线宽纳秒脉冲固体激光器 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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