Volumescope 2 3D SEM的性能数据
电子光学系统 |
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离子源寿命 | 24 个月 |
自动化 |
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载物台 | 双载物台扫描偏转 |
电子束 |
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样品仓 |
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探测器 |
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真空系统 |
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样品台 |
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有关完整的规格列表(包括软件、配件和安装要求摘要),请参阅数据表。
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