技术特点
【技术特点】-- Q300T D Plus –双靶顺序溅射镀膜仪
Q300T D Plus–双靶顺序溅射镀膜仪,适用150mm直径的试样
Q300T D Plus适用于两种材料的多层顺序溅射,具有两个独立的溅射头,无需破坏真空即可连续溅射两种金属。该系统是全自动的,用户定义的配方可以控制泵、镀膜顺序、镀膜时间、溅射循环次数和工艺过程中使用的电流等。通过在两个靶之间循环,可以依次溅射来自两种靶材料的厚度不同的膜层。不使用时,镀膜腔室可保持在真空环境下,以防止污染。
主要特点
能够实现 5 x 10-5 mbar 的真空度
新的触摸和滑动电容屏
用于升级和下载过程日志文件的 USB 端口
可以在一台计算机上设置多用户配置文件
新软件根据最近的使用情况对每个用户的食谱进行分类
16GB内存可存储1000多种配方
新型多色LED可视状态指示灯
可互换的载物台选项
两个溅射头,用于不同材料的大面积沉积
小样品的单头选择
【技术特点对用户带来的好处】-- Q300T D Plus –双靶顺序溅射镀膜仪
【典型应用举例】-- Q300T D Plus –双靶顺序溅射镀膜仪
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