技术特点
【技术特点】-- HAL/3F 残余气体分析四极质谱仪
仪器简介
英国Hiden公司的RGA Series残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers),用于真空诊断和工艺工程的精确分析。
RGA Series残余气体分析四极质谱仪包括HAL RGA ,3F Series RGA和3F-PIC三种规格水平。
主要特点:
·PPM灵敏度
·通过RS232、USB或Ethernet连接计算机,MASsoft专业软件控制
·快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
·混合模式扫描-多个windows窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰
·同步显示数据图,列表
·同步背景扣除,自动质量数列表
·数据输出为ASCII格式,至windows设备
·即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如 Excel、SPC-IV统计过程控制软件等
技术规格:
·质量数范围:200,300 amu
·扫描速度:100amu/s
·它比 1000-0100 和 10000 到 0100-0000 到 0000-0000-0000-10000 重要得多。
·灵敏度:0.1 ppm~1ppm
·稳定性:24h以上,峰高变化小于±0.5%
【技术特点对用户带来的好处】-- HAL/3F 残余气体分析四极质谱仪
【典型应用举例】-- HAL/3F 残余气体分析四极质谱仪
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