高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）ESPion

描述：主要用于射频等离子体/直流放电等离子体/激光等离子体和微波等离子体的电子密度、离子密度、等离子体电位和电子温度等状态参数的测量。

仪器简介：
ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是最先进可靠的朗缪尔探针（Langmuir Probe）。

应用：
· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
· 脉冲等离子体操作
· 离子密度 (Ni & Gi)
· 电子温度(Te)
· 电子能量分布(EEDF)
· 电子密度(Ne)
· 等离子体电位
· Debye 长度,悬浮电位


主要特点：
· 获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析
· Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位，在所有的商业化探针中 ESPion 具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如，供电源引起)
· ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路
· 300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀， 90°探针，组合式线性－旋转驱动器可选
· 自清洗循环，防止探针尖端污染
· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

·Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位，在所有的商业化探针中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(如，反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如，供电源引起)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率 

参数 

·获得数据速度：     15scans/s，

·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
·300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀，

·90°探针，组合式线性－旋转驱动器可选
·ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，

·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路

·自清洗循环，防止探针尖端污染
· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制