技术特点
【技术特点】-- 英国Ellutia HPGA系列高纯气/特气分析仪
高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。
Ellutia高纯气/特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法,检测限可达ppb级(<50ppb),既可用于检测常见的He、H2,Ar,N2,CO2中的微量杂质,还可分析特种气体如HCL,SiH4,BCL3,N2O,CF4等。根据不同应用要求,实现客户化定制。
产品特点
实现多种气体高灵敏度检测
氦气吹扫,避免与空气接触所引起的外界污染
精密防泄露装置,避免潜在污染
配备高纯气吸气剂,去除微量杂质
尺寸规格小,不占据实验室空间
高纯气体检测仪:
应用难点:
高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。
高纯气体中的微量杂质分析是色谱分析领域的难点。气体制造商必须确保所供应的气体符合技术规格,确保气体中主要微量杂质极低的检测限。常规检测器中,因受到检测灵敏度或是检测气体种类数量的限制,均无法满足实验室用户对高纯气体的
分析要求。
解决方案:
Ellutia高纯气体分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法和应用方案,检测限可低至ppb级(<50ppb)。此外,根据不同应用要求,对本套系统进行调整或升级,实现客户化定制功能。
微 量 杂 质:
高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。
高纯气体中的微量杂质分析是色谱分析领域的难点。气体制造商必须确保所供应的气体符合技术规格,确保气体中主要微量杂质极低的检测限。常规检测器中,因受到检测灵敏度或是检测气体种类数量的限制,均无法满足实验室用户对高纯气体的分析要求。
Ellutia高纯气体分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法和应用方案,检测限可低至ppb级(<50ppb)。此外,根据不同应用要求,对本套系统进行调整或升级,实现客户化定制功能。
标准配置中,此套系统可以检测气体中几类主要杂质,如下表所示:
H2 Ar/O 2 N2 CH4 CO CO2
He √ √ √ √ √ √
H2 × √ √ √ √ √
Ar √ × √ √ √ √
N2 √ √ × √ √ √
CO2 √ √ √ √ √ ×
【技术特点对用户带来的好处】-- 英国Ellutia HPGA系列高纯气/特气分析仪
【典型应用举例】-- 英国Ellutia HPGA系列高纯气/特气分析仪
高纯气/特气分析系统
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