主要特点包括：

- 光谱范围：100 GHz - 1.5 THz

- 光谱分辨率：1 - 10 MHz

- 动态范围：10^4

太赫兹透射光谱系统

使用透射光谱系统进行透射测量是对完全透明的材料进行特征分析的zei好的工具和方法。特别地，平面平行板的透射光谱由于干涉(Fabry-Perot etalon fringes)的原因表现出周期性的透射模式。可通过这些测量决定介电常数实部和虚部，因为校准器边缘的周期和振幅分别决定了材料折射指数和吸收度。

对半透明的材料进行特征分析则需要使用太赫兹马赫—曾德干涉光谱系统，这是因为这样的材料透射光谱中无法观察到校准边缘。马赫—曾德装置保证了样本作为频率函数所引发的相位偏移测量。结合分析这个数据和透射光谱，可计算出介电常数实部和虚部。

马赫—曾德干涉光谱系统

对半透明的材料进行特征分析则需要使用太赫兹马赫—曾德干涉光谱系统，这是因为这样的材料透射光谱中无法观察到校准边缘。马赫—曾德装置保证了样本作为频率函数所引发的相位偏移测量。结合分析这个数据和透射光谱，可计算出介电常数实部和虚部。

对全吸收的材料进行特征分析只可以通过反射几何。

太赫兹反射光谱系统

不透明材料的特征分析需要反射光谱系统。这是因为透射信号太弱以致不能进行特征分析。系统使用6轴控制来测量反射信号。通过这个透射和相位光谱系统的折射指数，可从软件的理论拟合能力快速计算出吸收系数和介电常数实部和虚部。

透射、马赫—曾德和反射光谱系统都是使用了TScan软件，保证了自动数据采集和分析。一个光谱扫描花费1-5分钟对于系统中运用的每个BWOs。