技术规格 标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm 
系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm 
光学照明 软件控制暗场和亮场 
电脑 Pentium IV, USB2.0联接 
操作系统 Win XP 
系统动力需求 90-240V，350W 
空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高 
重量 160lb 
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