技术资料
感应度 | 白光共聚焦 | ||
测量范围Z* | 300µm | 1mm | 2mm |
解析度 Z* | 12nm | 25nm | 75nm |
侧向解析度 | 1.55µm | 2µm | 4µm |
测量感应距离 | 11mm | 12.7mm | 16.4mm |
测量频率 | 30 Hz, 100 Hz, 300 Hz, 1 kHzv | ||
标准XY轴试验范围 | 60 x 60 mm | ||
移动速度 | 0.1 - 10 mm/s | ||
标准样品台大小 | 165 x 165 mm 或定制品 |
请扫描二维码查看详细参数
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。