技术参数
| Model | 463VSMH | 713VSMH |
| X-Y行程 （mm） | 460X 305 | 711 X 610 |
| 外形尺寸（宽） | 102cm（40“） | 127cm（50“） |
| 外形尺寸（长） | 102cm（40“） | 163cm（64“） |
| 外形尺寸（高） | 173cm（68“） | 173cm（68“） |
| 包装重量 净重（kg） | 1043kg（2300 lbs） 726kg（1600 lbs） | 1630kg（3600 lbs） 1225kg（2700 lbs） |
| X-Y 平台速度 | 500 mm (20“) 每秒 | |
| X-Y 精度 | E2=(1.8+5L/1000)μm,L= 测量长度（mm） 用像素值小于2μm 的校正件在20℃下测量 | |
| Z轴参数 | 行程200mm(8“)，速度150mm(6“) 每秒重复精度±3μm(±0.00012“) 在高倍镜下 | |
| Z精度 | E1=(1.5+5L/1000)μm,L= 测量长度（mm） 使用像素值小于2μm 的校正件在20℃下测量 | |
| 环境参数 | 温度范围：20±2°C，相对湿度：30% -80% | |
| 控制系统 | 基于windows 的工控系统 | |
| 电源参数 | 输入电压：115/230VAC, 输入电流：50/60Hz, 功率：1.0KW | |
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