法国Phasics SID4波前分析仪

四波横向剪切干涉技术背景介绍

phasics四波横向剪切干涉（上海屹持光电代理）：当待测波前经过波前分析仪时，光波通过特制光栅后得到一个与其自身有一定横向位移的复制光束，此复制光波与待测光波发生干涉，形成横向剪切干涉，两者重合部位出现干涉条纹。被测波前可能为平面波或者汇聚波，对于平面横向剪切干涉，为被测波前在其自身平面内发生微小位移发生微小位移产生一个复制光波；而对于汇聚横向剪切干涉，复制光波由汇聚波绕其曲率中心转动产生。干涉条纹中包含有原始波前的差分信息，通过特定的分析和定量计算梳理（反傅里叶变换）可以再现原始波前。

技术优势

1. 高采样点：

高达400*300个采样点，具备强大的局部畸变测试能力，降低测量不准确性和噪声；同时得到高精度强度分布图。

2. 消色差：

干涉和衍射相结合抵消了波长因子，干涉条纹间距与光栅间距完全相等。适应于不多波长光学测量且不需要重复校准，

3.  可直接测量高动态范围波前：

可见光波段可达500μm的高动态范围；可测试离焦量，大相差，非球面和复曲面等测。

               图4.测试对比图                             图5. 消色差                                     图6.高动态范围测量

应用方向：

1.       激光光束测量

可以实时测量强度相位（2d/3d）信息，zernike/legendre系数，远场，光束参数，光束形状m2等。

2光学测量

phasics波前传感器可对光学系统和元器件进行透射和反射式测量，专业kaleo软件可分析psf,mtf等

3.光学整形：

利用phasics波前传感器检测到精确的波前畸变信息，反馈给波前校正系统以补偿待测波前的畸变，从而得到目标波前相位分布和光束形状。右图上为把一束rms=1.48λ的会聚光矫正为rms=0.02λ的准平面波；右图下为把分散焦点光斑矫正为准高斯光束。高频率大气湍流自适应需要配合高频波前分析仪。

4.光学表面测量：

  phasics的sid4软件可以直接测量ptv, rms, wfe和曲率半径等，可直接进行自我校准，两次测量相位作差等。非常方便应用于平面球面等形貌测量。部分测量光路如右图所示

5.等离子体测量

法国phasics公司sid4系列等离子体分析仪(plasma diagnosis)是一款便携式、高灵敏度、高精度的等离子体分析仪器。该产品可实时检测激光产生的等离子体的电子密度、模式及传播方式。监测等离子体的产生、扩散过程，以及等离子体的品质因数。更好地为客户在喷嘴设计、激光脉冲的照度、气压、均匀性等方面提供zei优化的数据支持。

附：夏克哈特曼和四波横向剪切干涉波前分析仪对比表

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