GENESIS-510plus采用五轴有中心样品台，更大的行程，更高效果。计算机导航马达驱动，样品位置坐标存储后，可自动复位。标准配置二次电子探测器和背散射电子探测器，同时观察形貌像和成分像，配合低真空模式，绝缘样品可免喷金观察，是一款外观时尚的紧凑型、多功能、高性能扫描电镜。
【性能指标】
型号 | Genesis-510plus全自动扫描电镜 |
样品台 | 五轴优中心，全自动 X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm | R:360°无限 | T:-20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV （zei大发射电流190μA @ 30KV/zei大电子枪功率：5.7W) |
探测器 | ET-SED 四分割半导体背散射电子探测器 |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SE Image) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
zei大样品尺寸 | Φ150mm X60mm |
工作距离 | 0-60mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、zei大3200x2400像素 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
| 高级扫描模式 | 动态聚焦，倾斜补偿，点、线扫描 |
| 真空模式 | 高真空优于9x10-3Pa |
| 低真空模式 | 10-230pa |
真空系统 | 全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟） -涡轮分子泵 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中 |
软件系统 | 基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 600(W）x623（D）x 1350（H）mm /130kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具 |
可选配置 | 四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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