Park NX12可用于任何一个项目

NX系列的众多扫描模式和模块化设计使它可轻松地适应任何一个扫描探针显微镜的需求。

- 标准成像

• 真正的非接触模式AFM

• 接触模式AFM

• 侧向力显微镜（LFM)

• 相位成像

• 轻敲式AAFM

-电性能

• 导电AFM

• I-V谱线

• 扫描开尔文探针显微镜（SKPM/KPM)

• 高电压SKPM

• 扫描电容显微镜（SCM)

• 扫描电阻显微镜（SSRM)

• 扫描隧道显微镜 （STM)

• 扫描隧道光谱 （STS)

• 时间分辨的光电流测绘 （Tr-PCM)

- 磁性能

• 磁力显微镜 （MFM)

• 可调外加磁场MFM

  
  

-化学性能

• 扫描电化学池显微镜（SECCM)

• 扫描电化学显微镜 （SECM)

• 电化学显微镜(EC-STM和EC-AFM)

• 功能化探针的化学力显微镜

• 
  

-热性能

• 扫描热感显微镜(SThM)

-光学性能

? 探针增强拉曼光谱 (TERS)

? 时间分辨的光电流测绘 （Tr-PCM)

-介电/压电性能

• 静电力显微镜 （EFM)

• 动态接触式静电力显微镜（DC-EFM)

• 压电力显微镜 （PFM)

• 高电压PFM

-机械性能

• Pinpoint纳米力学映射

• 力调制显微镜 （FMM)

• 纳米压痕

• 纳米刻蚀

• 高电压纳米刻蚀

• 纳米操纵

• 压电力显微镜 （PFM)

-力测量

• 力－距离（F-D)光谱

• 力－体积成像

• 热噪声法标定弹性系数

1. 高样品   1.5 μm台阶高度

   扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

2. 平样品 蓝宝石晶圆的原子台阶 0.3nm台阶高度，扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

3. 硬样品 钨膜

      扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

 4. 软样品 胶原原纤维

   扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

 选项

范围广泛的环境控制选项包括了多功能电化学池，控温台和湿度控制的手套箱.

- 电化学池

• 电化学池

• 通用液池的电化学工具包

 - 化学选项

• 恒电位仪

• 双恒电位仪

- 环境控制选项

• 手套箱

• 活细胞箱

- 控温台 

•  控温台(-25 ~180度)

•  250度加热台

•  600度加热台

- 磁场发生器

•  平行于样品表面的外加磁场

•  可调磁场

•  范围：~300 gauss

- Z扫描头

• 15 μm AFM  Z 扫描头

• 30 μm AFM  Z 扫描头

• 15 μm SICM 模块 Z扫描头

• 30 μm SICM 模块 Z扫描头

- 液态成像选项

•  液态探针柄

•  开放式液池

•  通用液池

- 隔音罩

•  独立型 AE 204

•  独立型 AE 301

- 夹式芯片载体

•  可用于未装载悬臂

•  可用于导电式 AFM和EFM的针尖偏压功能

•  针尖偏压范围：-10 V ~ 10 V

 - 高级模式的初学者工具包

•  易使用的高级模式

•  包括特定探针和样品

Park NX12

规格

扫描器

Z扫描器

AFM 扫描头

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围：15μm(可选 30μm)

SICM 扫描头

多层压电叠层驱动器驱动的柔性引导结构

扫描范围：15μm(可选 30μm)

XY 扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

Scan range: 100*100μm

扫描范围：100μm ×100μm

驱动台

XY 驱动台行程范围: 50 mm x 50 mm

Z 驱动台行程范围: 25 mm

聚焦驱动台行程范围: 15 mm

影像

样品表面和悬臂的直观同轴影像

视野: 840 μm × 630 μm (10倍物镜)

摄像头: 5 M Pixel (默认), 1M Pixel (可选)

物镜

10倍 (NA. 0.23) 超长工作距离镜头

20倍 (NA. 0.35) 高分辨率，长工作距离镜头

电子信号处理

ADC: 18 通道

24-bit ADC 的 X, Y 和 Z 扫描器位置传感器

DAC: 17 通道

20-bit DAC的 X, Y 和 Z 扫描器定位

集成功能

3通道数字锁相放大器

弹性系数校准(热方法)

数据Q 控制