Park Systems XE15 原子力显微镜

MultiSample™（多重采样^TM）扫描器带来zei便捷样品测量

- 多样品一次性自动成像

- 特殊设计的多样品夹头，zei多可承载16个独立样品

- 全自动XY样品载台，行程范围达200 mm x 200 mm。

无轴间耦合提高扫描精度

- 两种独立闭环XY和Z平板式扫描

- 平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm，且残余压弯小

- 整个扫描范围内的异面移动小于2nm

- 强力扫描器达25μm Z扫描范围

- 精确的高度测量

Non-Contact™（真正非接触^TM）模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度

- 其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍

- 非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命

- 成像分辨率高于同类原子力显微镜

- 降低样品干扰，提高扫描精度

 提供zei佳用户体验

- 开放式侧面接入，提高样品及针尖更换效率

- 预对准的针尖安装和独一无二的轴上俯视法可简单直观地实现激光对准

- 燕尾锁封片方便镜头拆卸

- 界面带自动设置功能，方便用户使用

多种模式与选项

- 综合性测量模式及特性设置，是我司zei佳通用型原子力显微镜

- 多种可选配件及更新，扩展性能优越

-? 为缺陷分析提供先进电气测量