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Park Systems NX20 原子力显微镜

tel: 400-6699-117 4360

Park原子力显微镜扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM, 领先纳米测量工具助推缺陷分析和大型样品研究 作为一位缺陷分析工程师,你的任务是提供结果。而你的仪器所提供的数据不......

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技术特点
【技术特点】-- Park Systems NX20 原子力显微镜

技术特点

 

二维柔性导引扫描器,超大的100 μm x 100 μm扫描范围

XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆,可在保持平面外运动zei少的情况下,实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。

  

低噪声位置传感器

 行业领先的低噪声Z轴探测器替代Z电压,作为样貌信号。此外,低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

 

步进扫描自动化

 借助电动样品台,步进扫描模式能够允许用户自行编程多区域成像。在重复成像过程中,该自动化功能可减少用户的工作,从而提高生产力。

  

滑动连接超辐射发光二极管(SLD)镜头自动装卸

 燕尾式轨道设计,轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,并将其连接至控制电子元件,而重复定位精度只有几微米。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性,显微镜可精确成像高度反光表面和精密测量pico-Newton力对距光谱。此外,超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题,让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。

 

高级扫描探针显微镜模式和选项扩展槽

 只需要将可选模块插入扩展槽,您便可激活高级高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计,其产品线产品的兼容性大大提高。

 

高速24位数字电子控制器

 所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。该控制器为一个全数字、24位高速电子单元,能够确保Park True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,进一步提升性价比,是高级研究员的zei佳选择。

 

 XY和Z轴探测器的24位信号解决方案

·XY轴(50 μm)的分辨率为0.003 nm

·Z轴(15 μm)的分辨率为0.001 nm

 

嵌入式数字信号处理功能

·三通道灵活数字锁相·弹簧常数校正(热测法)

·数字Q控制

 

集成式信号端口

·专用可编程信号输入/输出端口

·7个输入端口和3个输出端口

 

高速Z轴扫描器,扫描范围达15 μm

 借助高强度压电叠堆和柔性结构,标准Z轴扫描器的共振频率高达9 kHz以上(一般为10.5 kHz)且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒,让信息反馈更为准确。zei大Z轴扫描范围可从标准的15 μm扩展至40μm(可选购的远距离Z轴扫描器)。

 

电动XY轴样品台,可选配编码器

 在电动样品台上加装编码器,可保证更高的重复定位精度,让样品定位更为准确。在配备编码器后,XY轴样品台的行程精度低至1 μm且重复定位精度低至2 μm,而Z轴样品台的行程精度和重复定位精度分别为0.1 μm和1 μm。

 

 可更换式样品架

 借助独特的镜头设计,用户可从侧面操作样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围,用户在样品台上可防止的zei大样品体积为直径150 mm x 20 mm或直径200 mm x 20 mm。

 

直视同轴高倍显微镜,集成LED照明

定制物镜配有超长工作距离(51 mm,0.21的数值孔径,1.0 μm的分辨率),带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计让用户可轻易地在样品表面找寻目标区域。为了达到更高的分辨率,我们采用了EL20x长行程物镜,且工作距离为20 mm,数值孔径为0.42,分辨率为0.7 μm。得益于CCD的大体积传感器,样品视角更宽,但分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明,以便清晰观察样品。

 

垂直配向的电动Z轴样品台和聚焦样品台

 Z轴样品台和聚焦样品台与悬臂连接,得以操控样品表面,且同时能够保证用户有着清晰的视野。此外,得益于聚焦样品台为电动且可软件控制,因此精密度可适用于透明样品和液体单元应用。



【技术特点对用户带来的好处】-- Park Systems NX20 原子力显微镜


【典型应用举例】-- Park Systems NX20 原子力显微镜


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