样品台移动范围：7mm*9mm

样品尺寸：直径25mm，厚度10mm

定位检测噪声：XY<0.15nm

系统集成光学显微镜，配有数字摄像机可在电脑中显示。光学成像为顶视图，分辨率1.5μm。

系统提供标准AFM成像模式：轻敲、相位成像、接触、侧向力、力调制、力校准模式，静电力和磁力模式，另有扫描电势和导电模块。