CAMECA透射电镜TEM, 三维原子探针显微术（3DAP），也称为原子探针断层分析术（APT），是一种具有原子级空间分辨率的测量和分析方法。基于场蒸发原理，三维原子探针通过在样品上施加一个强电压脉冲或者激光脉冲，将其表面原子逐一变成离子而移走并收集。3DAP的特性就是从zei小的尺度来逐点揭示材料内部结构，不论简单亦或复杂。可以轻松获得纳米尺度结构的细节—化学成分和三维形貌，因而专门应对材料研发中令人棘手的小尺度结构的测量与分析问题。例如，沉淀相或团簇结构的尺寸、成份及分布；又比如元素在各种内界面（晶界、相界、多层膜结构中的层间界面等）的偏聚行为等等。