科磊半导体光学仪器组件, 仪器简介： 應用： ◆多种成像方式（亮场、暗场、DIC及365nm UV成像等）可用于不同材料特性的分析； ◆zei大样片尺寸可达8英寸，分辨率达0.13um； ◆先进的检测方式可用于硅片、光罩和其他材料的失效分析及工艺控制。