产品介绍:
X射线光栅的制作流程
吸收光栅
(a)准备光栅胶层
(b)掩膜光刻胶层在X射线下曝光
(c)形成精细的光刻胶结构
(d)电镀金形成X射线光栅结构
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Microworks光学仪器组件, 公司介绍: 德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术,Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域,Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片,其zei高纵横比和精度可以远低于1μm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器(选频滤波器)、微弹簧,RF等。
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