4路质子混气管式PECVD系统

产品型号：OTF-1200X-50-4CLV-PE

品牌：合肥科晶

产品产地：中国

产品类型：国产

原制造商：合肥科晶

状态：在售

厂商指导价格： 10~30万元[人民币]

上市时间： 2011年

英文名称：OTF-1200X-50-4CLV-PE

优点： 为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）， 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。