分子泵型号 | 接口 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | zei高启动压强mbar | 极限压力 | 全转速气体流量hPa l/s | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 排气口 | 氮气 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气 | 氮气N2 | hPa | 氮气N2 | min | kg | |
HiPace 300 | 100 | 16 | 260 | 255 | 220 | > 1X1011 | 15(控制器TC 110) | < 1X10–7 | 5(控制器TC 110) | 3.5(TC 110) | 5.8 – 8.2 |
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