技术特点
【技术特点】-- 普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵
ADH 系列
用于zei新工艺应用的新型高性能干式泵
新型高性能干式泵
ADH 系列专门为太阳能、半导体和 LED 市场的苛刻工艺应用而开发,为N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。
半导体: H2 高抽速
ADH系列产品性能为您的工艺带来以下优势:
ALD工艺处理量:小分子气体的高抽速效率可以允许更快的在工艺步骤之间排空腔室。
外延和EUV:高抽速和大流量公差符合zei苛刻的工艺规范。
太阳能和LED:氢气准备就绪
ADH系列为太阳能(a-Si 和 μ-Si PECVD)以及LED(MOCVDGaN,AlGaAs,AlGalnP...)提供zei佳的氢气抽送效率。
无中间维护
所有轴承均经过了油润滑,不需要现场维护。通过改善粉末耐受性和冷凝管理,实现了较长的维护间隔以及泵寿命延长,这意味着降低了运行成本。
对工艺副产物的高耐受性
泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫,以防止粉末积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉末,保证良好的重启能力。此外,精心挑选的材料可以承受腐蚀性化学清洗剂。ADH系列采用全新的监控系统进行升级,其功能有助于提高工艺可靠性。
用于低COO的高效率
在泵不用于该工艺时,智能模式可通过降低功率和氮消耗降低运行成本。得益于优化的设计,泵在同级抽送性能水平中可提供市场上zei佳的功耗。优化的设计还可以降低发热量,从而降低冷却水流量。
坚固、安全
ADH系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行爆炸性气体(如氢气和硅烷)的应用时具有zei高水平的安全性。
应用领域
半导体 平板显示器 太阳能电池 LED
客户受益
■ 高达4,500 m3/h 的抽速,在N2 和 H2 中具有较高的性能
使用50和60Hz电源具有相同的性能
■ 得益于润滑的轴承以及对工艺副产品的高耐受性,具有较长的维护间隔
■ 低功率和低耗水量实现低COO
■ 由于具有优异的抗静态和动态内应力,从而增加了安全性
尺寸
AD 600 H
【技术特点对用户带来的好处】-- 普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵
【典型应用举例】-- 普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵
经销商
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