MFCS控制器可以对任何流体在复杂的微通道内进行全自动控制，压 力控制范围可以从负800mbar至正7Bar，流速从每分钟几亚纳升至几百 微升。

与传统的流体控制技术相比，MFCS技术具有无与伦比的稳定性和瞬 时响应速度。

以对任何流体在复杂的微通道内进行全自动控制，压 力控制范围可以从负800mbar至正7Bar，流速从每分钟几亚纳升至几百 微升。

技术规格：

ü可选压力范围：0-25mbar，0-69mbar，0-345mbar，0-1000mbar，0-7000mbar，-25mbar-0，-69mbar-0，-345mbar-0，-800mbar-0 

ü压力分辨率：量程的0.03% 

ü压力稳定性：小于0.1% ü通道数：1-16通道可选  

ü系统响应时间：小于40ms ü压力输入接口：6mm外径 

ü储液池个数：16个  

ü可用气体：空气，N2、CO?，Ar 等  

ü电源：24V直流、0.6A 

ü耗电功率：15W 

ü工作温度：5-40℃