元素分析范围

Na - U

zei大样品尺寸[W x D x H]

300 x 250 x 40 mm

样品台尺寸[W x D x H]

100 x 200 x 20 mm

光学图像

整体图像/细节图像

细节光学图像/X射线照射斑

同轴

X射线管

管电压

15 kV, 30 kV, 50 kV

管电流

zei大1 mA

靶材

铑（Rh）

X 射线光学系统

毛细管数

3

检测器

荧光X射线检测器

无液氮硅漂移检测器（SDD）

透过X射线检测器

配备

扫描

扫描范围

100 x 100 mm (zei大)

像素

4种规格

光学相机（细节相机）

视场区域

2.5 x 2.5 mm

分辨率

< 10 μm

焦距

1 mm- 10 mm

照明

环状、同轴、透过

其它

真空

样品室真空/光学系统真空