TESCAN S9000X 超高分辨型氙离子源双束扫描电镜

二次电子图象分辨率：0.7 nm @ 15keV 

放大倍数：1~1,000,000 x 

电子光学：Triglav™ 高亮度肖特基热场发射枪

样品台：优中心式全自动5轴计算机控制

探测器：标配SE, Restractable BSE, In-Beam, Im-Beam f-BSE

背散射电子图像分辨率：1.6 nm @ 15keV

加速电压：0.2 ~ 30 kV (zei低可至50V)

（离子光学系统）视野范围： 1 mm

（离子光学系统）探针电流： 1 pA ~ 2 μA

（离子光学系统）分辨率： 15 nm @ 30 kV

（离子光学系统）发射源： 氙等离子体源

（电子光学系统）视野范围： 7.0 mm @ WD=30 mm

（电子光学系统）探针电流： ~ 400 nA

（电子光学系统）分辨率： 0.7 nm @ 15 kV

(电子光学系统）发射源：肖特基场发射源

仪器分类： FIB-SEM